微弧氧化又称微等离子体氧化或阳极火花沉积，是一种将铝、钛、镁等有色金属或其合金置于特殊的电解液中，通过微等离子体放电，直接在金属或合金表面原位生长陶瓷膜的新技术。它是在阳极氧化的基础上建立起来的一种新方法。
一般认为，微弧氧化过程经过四个阶段。
（1）阳极氧化阶段
将样品置于一定的电解液中，通电后，样品表面和阴极表面出现无数细小均匀的白色气泡，而且随电压升高，气泡逐渐变大变密，生成速率也不断加快。在达到击穿电压之前，这种现象一直存在，这一阶段就是阳极氧化阶段。
（2）火花放电阶段
当施加到样品的电压达到击穿电压时，样品表面开始出现无数细小、亮度较低的火花点。这些火花点密度不高，无爆鸣声。在该阶段，样品表面开始形成陶瓷层，但陶瓷层的生长速率很小，硬度和致密度较低，所以应尽量减少这一阶段的时间。
（3）微弧氧化阶段
进入火花放电阶段后，随着电压继续升高，火花逐渐变大变亮，密度增加。随后，样品表面开始均匀地出现放电弧斑。弧斑较大，密度较高，随电流密度的增加而变亮，并伴有强烈的爆鸣声，此时即进入微弧氧化阶段。
（4）熄弧阶段
微弧氧化阶段末期，电压达到最大值，陶瓷层的生长将出现两种趋势。一种是样品表面的弧点越来越疏并最终消失，表面只有少量的细碎火花，这些火花最终消失，爆鸣声停止。另一种是表面只有少量的细碎火花，这些火花最终会完全消失，同时其他一个或几个部位突然出现较大的弧斑。这些较大的弧斑光亮刺眼，可以长时间保持不动，并且产生大量气体，爆鸣声增加。
维护氧化技术的优点及存在问题：
微弧氧化技术是在阳极氧化的基础上发展起来的，工艺上有着突出的特点：（1）电解液呈弱碱性，对环境没有污染；（2）工艺简单，对工件的预处理只要求表面去油去污，不需去除表面的自然氧化层，适用于大规模自动化产生；（3）微弧氧化可以一次完成，也可以分几次完成，而阳极氧化一旦中断就必须重新开始；（4）不需要真空或低温条件。
