(1) 阳极氧化阶段：将样品置于一定的电解液中，通电加压后，样品表面和阴极表面出现无数细小均匀的白色气泡，而且随电压增加，气泡逐渐变大变密， 生成速度也不断加快。在达到击穿电压之前，这种现象一直存在，这一阶段就是阳极氧化阶段。在该阶段，电压上升很快，但电流变化很小。电压较低时，样品表面形成一层很薄的氧化膜；但随着电压的升高，氧化膜的溶解速度也变快，有时甚至会使部分基体溶解，所以应尽量缩短阳极氧化阶段。
(2) 火花放电阶段：当施加到样品的电压达到击穿电压时，样品表面开始出现无数细小、亮度较低的火花点。这些火花点密度不高，无爆鸣声，这一阶段属于火花放电阶段。在该阶段，样品表面开始形成不连续的微弧氧化膜，但膜层生长速率很小，硬度和致密度较低，所以对最终形成的膜层贡献不大，也应尽量减少这一阶段的时间。
（3）微弧氧化阶段：进入火花放电阶段后，随着电压继续增加，火花逐渐变大变亮，密度增加。随后，样品表面开始均匀地出现放电弧斑。弧斑较大、密度较高，随电流密度的增加而变亮，并伴有强烈的爆鸣声，此时进入微弧氧化阶段。火花放电阶段与微弧氧化阶段紧密衔接，两者很难明确划分。在微弧氧化阶段， 随时间的延长，样品表面细小密集的弧斑逐渐变得大而稀疏，同时电压缓慢上升， 电流逐渐下降，弧点较密集的阶段，对氧化膜的生长最有利，膜层的大部分在此阶段形成，弧点较稀疏的阶段，对氧化膜的生长贡献不大，但可以提高氧化膜的致密性并降低表面粗糙度。微弧氧化阶段是形成陶瓷膜的主要阶段，对氧化膜的最终厚度、膜层表面质量和性能都起到决定性作用。考虑到该阶段在整个微弧氧化过程中的重要性，在保证膜层质量的前提下，应尽量延长该阶段的作用时间。
（4）熄弧阶段(或弧光放电阶段)：微弧氧化阶段末期，电压达到最大值，氧化膜的生长将出现两种趋势。一种趋势是样品表面的弧点越来越稀疏并最终消失， 爆鸣声停止，表面只有少量的细碎火花，这些火花最终会完全消失，微弧氧化过程也随之结束。这一阶段称为熄弧阶段。另一种趋势是样品表面的弧点几乎完全消失，同时其它一个或几个部位突然出现较大的弧斑，这些较大的弧斑光亮刺眼， 可以长时间保持不动，并且产生大量气体，爆鸣声增强，该阶段称为弧光放电阶段。样品表面发生弧光放电时，氧化膜会遭到破坏，基体也会出现烧蚀现象，因此弧光放电阶段对于氧化膜的形成尤为不利，在实际操作中应尽量避免该现象的发生。
