微弧氧化 ( Microarc oxidation，MAO) 又称微等离子体氧化(Micmplasma oxidation，MPO)，由于在研究该技术的过程中对微弧氧化的本质有不同的理解，在发展过程中有不同的术语：阳极火花沉积、阳极氧化、等离子体电解阳极化处理、一般称为微弧氧化或微等离子体氧化。

微弧氧化是指利用微弧放电在金属表面生长氧化膜的技术。氧化膜性能优良，主要用于机械、电气、汽车、武器装备、航空航天等行业关键部件的表面处理，解决高温烧蚀、磨损、腐蚀等问题。例如，俄罗斯在制造洲际弹道导弹子母弹的过程中采用了微弧氧化技术。经过微弧氧化处理后，水上快艇高速发动机缸体下套和活塞的耐磨性提高了几十倍，这是其他表面处理技术无法替代和比拟的。

德国科学家早在20世纪30年代 A.Gunterschulz和H.Betz 第一次报道高电场浸泡在液体中的金属表面发生火花放电，火花在没有发现硬层的情况下破坏氧化膜， 做出了“ 为了获得高质量的涂层，不应使用高于火花时的电压。 的结论，但它们为火花阳极氧化奠定了初步的理论基础。这一观点一直延续到 2 0世纪7 O尽管少数学者对这一现象持保留观点，但这一结论并没有完全改变。

前苏联科学家1969年 G.A.Markov 当向铝和铝合金材料施加高于火花区电压时，突破性获得高质量的氧化膜，具有良好的耐磨性和耐腐蚀性，称为微弧氧化 ( Microarc Oxidation，MAO) 。此后 G.A. 一Markov 研究小组进行了大量的基础研究，并在此基础上进行了应用研究。在此期间，美国和德国也对该技术进行了广泛的研究，包括实际应用。从文献的角度来看，美国和德国前苏联基本上独立发展了这项技术，很少引用文献。该技术于20世纪80年代开始在世界范围内广泛交流。

钛合金具有重量轻、比强度大、热稳定性好等优异的综合性能，广泛应用于航空、航天和民用工业。但缺点是钛合金表面硬度低、耐磨性差、耐腐蚀性差，特别是钛合金与其他金属接触时容易接触腐蚀，严重限制了钛合金的进一步应用。因此，国内外对钛合金表面进行了改性研究，以提高其表面性能。阳极氧化是传统的表面改性技术，P V D／C V D、离子注入、热喷涂和热氧化法。钛合金阳极氧化膜厚度一般小于1µm，达到2～3µm自己不容易，硬度低，目前只用于装饰涂层。P V D／C V D、离子注入和热氧化法在涂层制备过程中需要保持高温，在一定程度上改变了基体和涂层的结构，使基体的了基体的力学性能( 塑性恶化) ；P V D／C V D离子注入法需要昂贵的真空或大气保护条件，制备成本显著增加；热氧化法能耗大、时间长、劳动强度高，涂层不均匀。因此，有必要开发新的低成本、高性能的涂层制备技术。高科技微弧氧化综合解决了上述问题，在实践中取得了良好的效果。